L'implantation ionique pour la microéléctronique et l'optique
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Auteur principal : | |
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Format : | Livre |
Langue : | français |
Titre complet : | L' implantation ionique pour la microéléctronique et l'optique / Pierre-Noël Favennec,... |
Publié : |
Paris, Milan, Barcelone :
Masson
, 1993 |
Description matérielle : | XXIV-506 p |
Collection : | Collection technique et scientifique des télécommunications ; 1993 |
Sujets : |
Bibliographie : | Bibliogr. p. 463-480. Index |
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ISBN : | 2-225-84081-4 |