Description: Materials and process characterization

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Autres auteurs :	Einspruch Norman G. (Éditeur scientifique), Larrabee Graydon B (Éditeur scientifique)
Format :	Livre
Langue :	anglais
Titre complet :	Materials and process characterization / ed. by Norman G. Einspruch, Graydon B. Larrabee
Publié :	Orlando : Academic Press , 1983
Description matérielle :	xii, 598 p
Collection :	VLSI electronics ; 6
Sujets :	Circuits intégrés à très grande échelle > Matériaux Composants électroniques