Microelectronic materials and processes

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Détails bibliographiques
Autres auteurs : Levy Roland Albert (Éditeur scientifique)
Format : Livre
Langue : anglais
Titre complet : Microelectronic materials and processes
Publié : Dordrecht : Kluwer Academic Publ. , 1989
Description matérielle : XIV-985 p.
Collection : NATO ASI series : E, Applied sciences ; 164
Sujets :
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