APPLICATION DE LA RETRODIFFUSION D'IONS HE**(+), D'ENERGIE 1,5 A 2 MEV, A L'ETUDE DE LA CROISSANCE DES SILICIURES DE PLATINE EN COUCHES MINCES
EXPOSE DE LA METHODE D'ANALYSE DANS SON PRINCIPE ET SES APPLICATIONS, AVEC SES AVANTAGES ET SES LIMITES. ETUDE DE L'ETAT DE LA SURFACE DU SILICIUM AVANT DEPOT DU PLATINE ET DE L'INFLUENCE DU MILIEU AMBIANT LORS DU RECUIT. RESULTATS SUR LA FORMATION DES SILICIURES DE PLATINE SOUS ENCAP...
Enregistré dans:
Auteur principal : | |
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Format : | Thèse ou mémoire |
Langue : | français |
Titre complet : | APPLICATION DE LA RETRODIFFUSION D'IONS HE**(+), D'ENERGIE 1,5 A 2 MEV, A L'ETUDE DE LA CROISSANCE DES SILICIURES DE PLATINE EN COUCHES MINCES / P. JOUBERT |
Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1976 |
Description matérielle : | 157 p |
Note de thèse : | DOCTORAT DE 3E CYCLE : SCIENCES APPLIQUEES/PHYSIQUE : 1976 |
Sujets : | |
Particularités de l'exemplaire : | BU Sciences, Ex. 1 : Titre temporairement indisponible à la communication BU Sciences, Ex. 2 : Titre temporairement indisponible à la communication |
Résumé : | EXPOSE DE LA METHODE D'ANALYSE DANS SON PRINCIPE ET SES APPLICATIONS, AVEC SES AVANTAGES ET SES LIMITES. ETUDE DE L'ETAT DE LA SURFACE DU SILICIUM AVANT DEPOT DU PLATINE ET DE L'INFLUENCE DU MILIEU AMBIANT LORS DU RECUIT. RESULTATS SUR LA FORMATION DES SILICIURES DE PLATINE SOUS ENCAPSULATION. |
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Notes : | CNET, Lannion |
Bibliographie : | 8 P. 1/2 |