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Etude de l'influence de la nature de la décharge et de la phase gazeuse sur la structure et les propriétés des films a-SixC1-x:H déposés par plasma
ETUDE DE LA CINETIQUE DE CROISSANCE, DE LA STRUCTURE ET DES PROPRIETES DES FILMS A-SI::(X) C::(1)--::(X) : H ELABORES SOUS PLASMA DANS DEUX TYPES DE DECHARGES (RF ET DC) A PARTIR DU MELANGE SIH::(4)-C::(2)H-4 ET DANS UNE DECHARGE RF A PARTIR DE TMS (SI (CH-::(3))::(4)).LA CARACTERISATION DES BOMBARD...
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| Auteur principal : | |
|---|---|
| Collectivités auteurs : | , |
| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | Etude de l'influence de la nature de la décharge et de la phase gazeuse sur la structure et les propriétés des films a-SixC1-x:H déposés par plasma / Abdelkrim Zamouche |
| Publié : |
1984 |
| Description matérielle : | 1 vol. (145 p.) |
| Note de thèse : | Thèse de 3e cycle : Physique : Nantes : 1984 |
| Sujets : |
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| 330 | |a ETUDE DE LA CINETIQUE DE CROISSANCE, DE LA STRUCTURE ET DES PROPRIETES DES FILMS A-SI::(X) C::(1)--::(X) : H ELABORES SOUS PLASMA DANS DEUX TYPES DE DECHARGES (RF ET DC) A PARTIR DU MELANGE SIH::(4)-C::(2)H-4 ET DANS UNE DECHARGE RF A PARTIR DE TMS (SI (CH-::(3))::(4)).LA CARACTERISATION DES BOMBARDEMENTS IONIQUES DANS LES DEUX DECHARGES A ETE EFFECTUEE A L'AIDE D'UNE SONDE A GRILLE. ETUDE DE L'INFLUENCE DE LA STRUCTURE DU TMS SUR LES FILMS. DETERMINATION DE LA COMPOSITION ET DE LA STRUCTURE DES FILMS PAR ESCA ET IR. MESURES OPTIQUES. IL A ETE MONTRE DANS LES DEUX CAS QUE LES FILMS PEUVENT PRESENTER DEUX TYPES DE STRUCTURE | ||
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| 610 | 2 | |a THIN FILM/AMORPHOUS STATE/PREPARATION/IMPURITY/INORGANIC COMPOUND/CHEMICAL COMPOSITION/GLOW DISCHARGE/KINETICS/PLASMA DEPOSITION/PHOTOELECTRON SPECTROMETRY/IRRADIATION/IONS/OPTICAL PROPERTIES/INFRARED ABSORPTION/ORGANIC COMPOUNDS/SILICON CARBIDES | |
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