REALISATION ET ETUDE DE COUCHES MINCES DE NITRURE ET D'OXYNITRURE THERMIQUES DE SILICIUM

REALISATION ET ETUDE DE COUCHES MINCES DE NITRURE ET D'OXYNITRURE THERMIQUES DE SILICIUM

PREPARATION DES COUCHES NITRUREES A 1100**(O)C SOUS AMMONIAC ET ANALYSE PAR ELLIPSOMETRIE, SPECTROMETRIE ESCA. AUGER ET REACTION NUCLEAIRE. PRESENCE A LA FOIS D'AZOTE ET D'OXYGENE DANS LES COUCHES DE NITRURE. DISTRIBUTION DE L'AZOTE EN FONCTION DU TEMPS DE NITRURATION. CARACTERISATION...

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Détails bibliographiques
Auteurs principaux : Plantard Michel (Auteur), Le Bihan Raymond (Directeur de thèse)
Collectivité auteur : Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance)
Format : Thèse ou mémoire
Langue : français
Titre complet : REALISATION ET ETUDE DE COUCHES MINCES DE NITRURE ET D'OXYNITRURE THERMIQUES DE SILICIUM / MICHEL PLANTARD; SOUS LA DIRECTION DE RAYMOND LE BIHAN
Publié : [S.l.] : [s.n.] , 1986
Description matérielle : 162 P.
Note de thèse : Thèse de 3e cycle : Physique : Nantes : 1986
Sujets :
PHYSIQUE : ETAT CONDENSE : PROPRIETES MECANIQUES ET THERMIQUES
COMPOSE MINERAL/COUCHE MINCE/CROISSANCE CRISTALLINE/NITRURATION/TRAITEMENT THERMIQUE/ELLIPSOMETRIE/SPECTROMETRIE AUGER/SPECTRE PHOTOELECTRON/RAYON X/REACTION NUCLEAIRE/ETUDE EXPERIMENTALE/SILICIUM NITRURE/SILICIUM OXYNITRURE
INORGANIC COMPOUND/THIN FILM/CRYSTAL GROWTH/NITRIDING/HEAT TREATMENT/ELLIPSOMETRY/AUGER ELECTRON SPECTROMETRY/PHOTOELECTRON SPECTRUM/X RAY/NUCLEAR REACTION/EXPERIMENTAL STUDY/SILICON NITRIDES/SILICON NITRIDES OXIDES
Thèses et écrits académiques
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Particularités de l'exemplaire : BU Sciences, Ex. 1 :
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