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DEPOT PAR PLASMA DE COUCHES MINCES DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE : CINETIQUE DE CROISSANCE, STRUCTURE, PROPRIETES OPTIQUES ET MECANIQUES
ETUDE DU DEPOT DE COUCHES MINCES DE CARBONE AMORPHE PAR CVD PLASMA, DANS UN MELANGE A 13,56 MHZ OU 50 KHZ, A PARTIR DE CH::(4) OU C::(6)H::(6)-HE. ANALYSE DU COMPORTEMENT ELECTRIQUE DES DECHARGES, DE LA CINETIQUE DE CROISSANCE, DE LA STRUCTURE ET DES PROPRIETES DES COUCHES A-C:H. PROPOSITION D'...
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| Auteur principal : | |
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| Collectivité auteur : | |
| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | DEPOT PAR PLASMA DE COUCHES MINCES DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE : CINETIQUE DE CROISSANCE, STRUCTURE, PROPRIETES OPTIQUES ET MECANIQUES / PASCAL COUDERC |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1986 |
| Description matérielle : | 177 p. |
| Note de thèse : | Thèse de 3e cycle : Physique : Nantes : 1986 |
| Sujets : | |
| Particularités de l'exemplaire : | BU Sciences, Ex. 1 : Titre temporairement indisponible à la communication BU Sciences, Ex. 2 : Titre temporairement indisponible à la communication |
| Résumé : | ETUDE DU DEPOT DE COUCHES MINCES DE CARBONE AMORPHE PAR CVD PLASMA, DANS UN MELANGE A 13,56 MHZ OU 50 KHZ, A PARTIR DE CH::(4) OU C::(6)H::(6)-HE. ANALYSE DU COMPORTEMENT ELECTRIQUE DES DECHARGES, DE LA CINETIQUE DE CROISSANCE, DE LA STRUCTURE ET DES PROPRIETES DES COUCHES A-C:H. PROPOSITION D'UN MODELE POUR LA CINETIQUE DE CROISSANCE ET D'UN MODELE STRUCTURAL |
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| Variantes de titre : | PLASMA DEPOSITION OF A-C:H THIN FILMS: GROWTH KINETICS, STRUCTURE, OPTICAL AND MECHANICAL PROPERTIES |
| Bibliographie : | 145 REF |