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DEPOT PAR PLASMA DE COUCHES MINCES DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE : CINETIQUE DE CROISSANCE, STRUCTURE, PROPRIETES OPTIQUES ET MECANIQUES
ETUDE DU DEPOT DE COUCHES MINCES DE CARBONE AMORPHE PAR CVD PLASMA, DANS UN MELANGE A 13,56 MHZ OU 50 KHZ, A PARTIR DE CH::(4) OU C::(6)H::(6)-HE. ANALYSE DU COMPORTEMENT ELECTRIQUE DES DECHARGES, DE LA CINETIQUE DE CROISSANCE, DE LA STRUCTURE ET DES PROPRIETES DES COUCHES A-C:H. PROPOSITION D'...
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| Auteur principal : | |
|---|---|
| Collectivité auteur : | |
| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | DEPOT PAR PLASMA DE COUCHES MINCES DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE : CINETIQUE DE CROISSANCE, STRUCTURE, PROPRIETES OPTIQUES ET MECANIQUES / PASCAL COUDERC |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1986 |
| Description matérielle : | 177 p. |
| Note de thèse : | Thèse de 3e cycle : Physique : Nantes : 1986 |
| Sujets : | |
| Particularités de l'exemplaire : | BU Sciences, Ex. 1 : Titre temporairement indisponible à la communication BU Sciences, Ex. 2 : Titre temporairement indisponible à la communication |
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| 610 | 2 | |a CONTRAINTE INTERNE/MODULE YOUNG/ABSORPTION OPTIQUE/LIMITE ABSORPTION/RELATION STRUCTURE PROPRIETE/ETUDE EXPERIMENTALE/COUCHE MINCE/ETAT AMORPHE/SPECTRE RAMAN/SPECTRE IR/IMPURETE/HYDROGENE|SEC/CINETIQUE/DEPOT PLASMA/STRUCTURE ETAT AMORPHE/CARBONE|SUB | |
| 610 | 2 | |a INTERNAL STRESS/YOUNG MODULUS/OPTICAL ABSORPTION/ABSORPTION EDGE/PROPERTY STRUCTURE RELATIONSHIP/EXPERIMENTAL STUDY/THIN FILM/AMORPHOUS STATE/RAMAN SPECTRUM/INFRARED SPECTRUM/IMPURITY/HYDROGEN/KINETICS/PLASMA DEPOSITION/AMORPHOUS STATE STRUCTURE/CARBON | |
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