MODELISATION ET SIMULATION NUMERIQUE D'UN PLASMA HELICON

MODELISATION ET SIMULATION NUMERIQUE D'UN PLASMA HELICON

LA PRESENTE ETUDE EST CONSACREE A LA MODELISATION ET A LA SIMULATION NUMERIQUE DES PLASMAS D'ARGON ET D'OXYGENE DEPUIS LEUR CREATION PAR UNE SOURCE PLASMA HELICON JUSQU'A LEUR ARRIVEE A L'EXTREMITE DE LA CHAMBRE DE DIFFUSION CONTENANT LE SUBSTRAT A TRAITER. LE BUT DE CE TRAVAIL E...

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Détails bibliographiques
Auteur principal : EL KANZARI ZAKIA (Auteur)
Collectivité auteur : Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance)
Autres auteurs : Turban Guy (Directeur de thèse)
Format : Thèse ou mémoire
Langue : français
Titre complet : MODELISATION ET SIMULATION NUMERIQUE D'UN PLASMA HELICON / ZAKIA EL KANZARI; SOUS LA DIRECTION DE GUY TURBAN
Publié : [S.l.] : [s.n.] , 1997
Description matérielle : 191 P.
Note de thèse : Thèse de doctorat : Physique : Nantes : 1997
Sujets :
PHYSIQUE : FLUIDES, PLASMAS ET DECHARGES ELECTRIQUES/SCIENCES DES MATERIAUX, RHEOLOGIE
SIMULATION ORDINATEUR/SOURCE PLASMA/REACTEUR TRAITEMENT MATERIAU/ONDE HELICON/ARGON/NC/OXYGENE MOLECULE/NK/METHODE MONTE CARLO/MODELE PIC/MODELE CINETIQUE/DEPOT/SILICE/NK/5250D/PAC/5275R/PAC/8115G/PAC/O2
COMPUTERIZED SIMULATION/PLASMA SOURCES/MATERIALS PROCESSING REACTORS/HELICON WAVES/ARGON/NC/OXYGEN MOLECULES/NK/MONTE CARLO METHOD/PIC MODEL/KINETIC MODEL/DEPOSITION/SILICA/NK
Thèses et écrits académiques
Particularités de l'exemplaire : BU Sciences, Ex. 1 :
Titre temporairement indisponible à la communication
BU Sciences, Ex. 2 :
Titre temporairement indisponible à la communication

BU Sciences

Informations d'exemplaires de BU Sciences
‌ Cote Prêt Statut
Communication impossible 97 NANT 2004 Empruntable Disponible
Communication impossible 97 NANT 2004 Exclu du prêt Disponible

Bib. Centrale Nantes

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‌ Cote Prêt Statut
Magasin 3 TH 1648 bis Empruntable Disponible
Magasin 3 TH 1648 Exclu du prêt Disponible