MODELISATION ET SIMULATION NUMERIQUE D'UN PLASMA HELICON

LA PRESENTE ETUDE EST CONSACREE A LA MODELISATION ET A LA SIMULATION NUMERIQUE DES PLASMAS D'ARGON ET D'OXYGENE DEPUIS LEUR CREATION PAR UNE SOURCE PLASMA HELICON JUSQU'A LEUR ARRIVEE A L'EXTREMITE DE LA CHAMBRE DE DIFFUSION CONTENANT LE SUBSTRAT A TRAITER. LE BUT DE CE TRAVAIL E...

Description complète

Enregistré dans:
Détails bibliographiques
Auteur principal : EL KANZARI ZAKIA (Auteur)
Collectivité auteur : Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance)
Autres auteurs : Turban Guy (Directeur de thèse)
Format : Thèse ou mémoire
Langue : français
Titre complet : MODELISATION ET SIMULATION NUMERIQUE D'UN PLASMA HELICON / ZAKIA EL KANZARI; SOUS LA DIRECTION DE GUY TURBAN
Publié : [S.l.] : [s.n.] , 1997
Description matérielle : 191 P.
Note de thèse : Thèse de doctorat : Physique : Nantes : 1997
Sujets :
Particularités de l'exemplaire : BU Sciences, Ex. 1 :
Titre temporairement indisponible à la communication

BU Sciences, Ex. 2 :
Titre temporairement indisponible à la communication

Table des matières indisponible