ETUDE EXPERIMENTALE ET MODELISATION D'UNE DECHARGE RADIOFREQUENCE MAGNETRON POUR LA REALISATION DE COUCHES MINCES DE TIW
CE MEMOIRE EST CONSACRE A L'ETUDE EXPERIMENTALE ET A LA MODELISATION D'UNE DECHARGE PLANAR MAGNETRON RADIOFREQUENCE, POUR LA PULVERISATION CATHODIQUE D'UNE CIBLE DE WTI SOUS UN PLASMA D'ARGON. L'OBJECTIF DE CE TRAVAIL EST DE CONTRIBUER A UNE MEILLEURE COMPREHENSION ET A TERM...
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Format : | Thèse ou mémoire |
Langue : | français |
Titre complet : | ETUDE EXPERIMENTALE ET MODELISATION D'UNE DECHARGE RADIOFREQUENCE MAGNETRON POUR LA REALISATION DE COUCHES MINCES DE TIW / FREDERIC CLENET; SOUS LA DIRECTION DE GUY TURBAN |
Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1997 |
Description matérielle : | 180 P. |
Note de thèse : | Thèse de doctorat : Physique : Nantes : 1997 |
Sujets : | |
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ETUDE EXPERIMENTALE ET MODELISATION D'UNE DECHARGE RADIOFREQUENCE MAGNETRON POUR LA REALISATION DE COUCHES MINCES DE TIW |
Particularités de l'exemplaire : | BU Sciences, Ex. 1 : Titre temporairement indisponible à la communication BU Sciences, Ex. 2 : Titre temporairement indisponible à la communication |
BU Sciences
| Cote | Prêt | Statut |
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Communication impossible | 97 NANT 2081 | Empruntable | Disponible |
Communication impossible | 97 NANT 2081 | Exclu du prêt | Disponible |