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ETUDE EXPERIMENTALE ET MODELISATION D'UNE DECHARGE RADIOFREQUENCE MAGNETRON POUR LA REALISATION DE COUCHES MINCES DE TIW
CE MEMOIRE EST CONSACRE A L'ETUDE EXPERIMENTALE ET A LA MODELISATION D'UNE DECHARGE PLANAR MAGNETRON RADIOFREQUENCE, POUR LA PULVERISATION CATHODIQUE D'UNE CIBLE DE WTI SOUS UN PLASMA D'ARGON. L'OBJECTIF DE CE TRAVAIL EST DE CONTRIBUER A UNE MEILLEURE COMPREHENSION ET A TERM...
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| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | ETUDE EXPERIMENTALE ET MODELISATION D'UNE DECHARGE RADIOFREQUENCE MAGNETRON POUR LA REALISATION DE COUCHES MINCES DE TIW / FREDERIC CLENET; SOUS LA DIRECTION DE GUY TURBAN |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1997 |
| Description matérielle : | 180 P. |
| Note de thèse : | Thèse de doctorat : Physique : Nantes : 1997 |
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ETUDE EXPERIMENTALE ET MODELISATION D'UNE DECHARGE RADIOFREQUENCE MAGNETRON POUR LA REALISATION DE COUCHES MINCES DE TIW |
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