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ETUDE DE LA MODIFICATION DES SURFACES DE SILICIUM ET D'OXYDE DE SILICIUM SOUMISES A DES PLASMAS DE TRIFLUOROMETHANE ET D'OXYGENE
LE BUT DE CETTE ETUDE EST D'ACQUERIR UNE CONNAISSANCE APPROFONDIE DU MECANISME D'INTERACTION ENTRE LES PLASMAS DE CHF::(3) ET D'O::(2) ET LES SURFACES DE SI ET SIO::(2). DEUX TECHNIQUES EXPERIMENTALES ONT ETE UTILISEES : LA SPECTROMETRIE DE MASSE DU GAZ IONISE ET LA SPECTROMETRIE DE P...
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| Auteur principal : | |
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| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | ETUDE DE LA MODIFICATION DES SURFACES DE SILICIUM ET D'OXYDE DE SILICIUM SOUMISES A DES PLASMAS DE TRIFLUOROMETHANE ET D'OXYGENE / ABDELJALIL RHOUNNA; SOUS LA DIRECTION DE GUY TURBAN |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1988 |
| Description matérielle : | NON PAGINE |
| Note de thèse : | Thèse de 3e cycle : Chimie : Nantes : 1988 |
| Sujets : | |
| Documents associés : | Reproduit comme:
ETUDE DE LA MODIFICATION DES SURFACES DE SILICIUM ET D'OXYDE DE SILICIUM SOUMISES A DES PLASMAS DE TRIFLUOROMETHANE ET D'OXYGENE |
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