GRAVURE IONIQUE REACTIVE DES COUCHES MINCES DE DIAMANT. APPLICATION A LA PLANARISATION
CE MEMOIRE DE THESE PORTE SUR L'ETUDE DE LA GRAVURE DE COUCHES MINCES DE DIAMANT PAR UN PROCEDE DE GRAVURE IONIQUE REACTIVE (RIE) EN PLASMAS RADIOFREQUENCE D'HEXAFLUORURE DE SOUFRE (SF#6) ET D'OXYGENE. CE TRAVAIL A POUR OBJECTIF DE PROPOSER UN POST-TRAITEMENT DES COUCHES DE DIAMANT PA...
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Format : | Thèse ou mémoire |
Langue : | français |
Titre complet : | GRAVURE IONIQUE REACTIVE DES COUCHES MINCES DE DIAMANT. APPLICATION A LA PLANARISATION / CHRISTOPHE VIVENSANG; SOUS LA DIRECTION DE G. TURBAN |
Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1996 |
Description matérielle : | 185 P. |
Note de thèse : | Thèse de doctorat : Sciences appliquées. Physique : Nantes : 1996 |
Sujets : | |
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GRAVURE IONIQUE REACTIVE DES COUCHES MINCES DE DIAMANT. APPLICATION A LA PLANARISATION |
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