ETUDE PAR SPECTROSCOPIE DE PHOTOELECTRONS XPS DE L'INTERACTION INDUITE PAR FAISCEAU D'ELECTRONS OU D'IONS NEON ENTRE DE L'HEXAFLUORURE DE SOUFRE ADSORBE ET DU SILICIUM MONOCRISTALLIN A BASSE TEMP

ETUDE PAR SPECTROSCOPIE DE PHOTOELECTRONS XPS DE L'INTERACTION INDUITE PAR FAISCEAU D'ELECTRONS OU D'IONS NEON ENTRE DE L'HEXAFLUORURE DE SOUFRE ADSORBE ET DU SILICIUM MONOCRISTALLIN A BASSE TEMP

CE MEMOIRE PRESENTE UNE ETUDE FONDAMENTALE DE L'INTERACTION, INDUITE PAR FAISCEAU D'ELECTRONS OU D'IONS NEON, ENTRE DE L'HEXAFLUORURE DE SOUFRE ET DU SILICIUM MONOCRISTALLIN A BASSE TEMPERATURE. IL S'AGIT D'UNE CONTRIBUTION A LA COMPREHENSION DU PROCESSUS DE GRAVURE PLA...

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Détails bibliographiques
Auteur principal : Royer Jacques (Auteur)
Collectivité auteur : Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance)
Autres auteurs : GROLLEAU B. (Directeur de thèse)
Format : Thèse ou mémoire
Langue : français
Titre complet : ETUDE PAR SPECTROSCOPIE DE PHOTOELECTRONS XPS DE L'INTERACTION INDUITE PAR FAISCEAU D'ELECTRONS OU D'IONS NEON ENTRE DE L'HEXAFLUORURE DE SOUFRE ADSORBE ET DU SILICIUM MONOCRISTALLIN A BASSE TEMP / JACQUES ROYER; SOUS LA DIRECTION DE B. GROLLEAU
Publié : [S.l.] : [s.n.] , 1994
Description matérielle : 122 P.
Note de thèse : Thèse de doctorat : Physique - Chimie : Nantes : 1994
Sujets :
PHYSIQUE/CHIMIE : ETAT CONDENSE : PROPRIETES MECANIQUES ET THERMIQUES/CHIMIE GENERALE ET PHYSIQUE
ETUDE EXPERIMENTALE/SPECTROMETRIE PHOTOELECTRON/RAYON X/ETAT ADSORBE/SILICIUM/NC/SOUFRE FLUORURE/NK/COMPOSE BINAIRE/EFFET PHYSIQUE RAYONNEMENT/FAISCEAU ELECTRON/DISSOCIATION MOLECULAIRE/CHIMISORPTION/MECANISME/CINETIQUE/GRAVURE PLASMA/FAISCEAU ION/NEON ION/NC/6180F/PAC/8265M/PAC/6180J/PAC/SI/SF6/F S
EXPERIMENTAL STUDY/PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY/X RADIATION/ADSORBED STATE/SILICON/NC/SULFUR FLUORIDES/NK/BINARY COMPOUNDS/PHYSICAL RADIATION EFFECTS/ELECTRON BEAMS/MOLECULAR DISSOCIATION/CHEMISORPTION/MECHANISM/KINETICS/PLASMA ETCHING/ION BEAMS/NEON IONS/NC
Thèses et écrits académiques
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Particularités de l'exemplaire : BU Sciences, Ex. 1 :
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BU Sciences, Ex. 2 :
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