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CARACTERISATION DES FILMS MINCES DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE (A-C : H) ELABORES EN PLASMA RF. ETUDE DE L'INTERFACE A-C:H/SUBSTRAT ET DES MECANISMES D'ADHESION
CE MEMOIRE PRESENTE L'ELABORATION DES FILMS MINCES DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE (A-C:H) PAR DECOMPOSITION DU METHANE DANS UN REACTEUR DIODE RADIOFREQUENCE. LES PARAMETRES DE TRAVAIL ANALYSES SONT LA PRESSION DANS L'ENCEINTE, LE DEBIT DE GAZ ET LA TENSION D'AUTOPOLARISATION DE LA CATHO...
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| Auteur principal : | |
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| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | CARACTERISATION DES FILMS MINCES DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE (A-C : H) ELABORES EN PLASMA RF. ETUDE DE L'INTERFACE A-C:H/SUBSTRAT ET DES MECANISMES D'ADHESION / NATHALIE FOURCHES; SOUS LA DIRECTION DE GUY TURBAN |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1993 |
| Description matérielle : | 190 P. |
| Note de thèse : | Thèse de doctorat : Physique : Nantes : 1993 |
| Sujets : | |
| Documents associés : | Reproduit comme:
CARACTERISATION DES FILMS MINCES DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE (A-C |
| Particularités de l'exemplaire : | BU Sciences, Ex. 1 : Titre temporairement indisponible à la communication BU Sciences, Ex. 2 : Titre temporairement indisponible à la communication |
| Résumé : | CE MEMOIRE PRESENTE L'ELABORATION DES FILMS MINCES DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE (A-C:H) PAR DECOMPOSITION DU METHANE DANS UN REACTEUR DIODE RADIOFREQUENCE. LES PARAMETRES DE TRAVAIL ANALYSES SONT LA PRESSION DANS L'ENCEINTE, LE DEBIT DE GAZ ET LA TENSION D'AUTOPOLARISATION DE LA CATHODE PORTE SUBSTRAT. LA FORMATION DE L'INTERFACE DEPOT/SUBSTRAT AINSI QUE L'ELABORATION DES COUCHES A-C:H ONT ETE SUIVIES PAR ELLIPSOMETRIE IN-SITU. LA MODELISATION DE LA VITESSE DE DEPOT A PERMIS DE METTRE EN EVIDENCE LE ROLE DU FLUX D'IONS, DU FLUX DE NEUTRES ET DU BOMBARDEMENT IONIQUE SUR LA CROISSANCE ET LA MORPHOLOGIE DES COUCHES. DE MEME L'INFLUENCE DE LA TENSION D'AUTOPOLARISATION SUR LA COMPOSITION ET LA STRUCTURE DES FILMS A ETE ETUDIEE. NOUS AVONS MONTRE QUE, SUIVANT CETTE TENSION D'AUTOPOLARISATION, IL EXISTE TROIS TYPES DE FILMS DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE QUE NOUS DENOMMONS: DE TYPE POLYMERIQUE (V#B<100 V), DUR OU DIAMOND-LIKE CARBON (100 V |
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| Variantes de titre : | CHARACTERIZATION OF HYDROGENATED AMORPHOUS CARBON (A-C:H) THIN FILMS ELABORATED BY RF PLASMA STUDY OF THE A-C:H/SUBSTRATE INTERFACE AND OF THE ADHESION MECHANISMS |
| Notes : | IMN - UMR 110 - CNRS, LPCM, ISITEM 1993NANT2054 |
| Bibliographie : | 187 REF. |