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CARACTERISATION DES FILMS MINCES DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE (A-C : H) ELABORES EN PLASMA RF. ETUDE DE L'INTERFACE A-C:H/SUBSTRAT ET DES MECANISMES D'ADHESION
CE MEMOIRE PRESENTE L'ELABORATION DES FILMS MINCES DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE (A-C:H) PAR DECOMPOSITION DU METHANE DANS UN REACTEUR DIODE RADIOFREQUENCE. LES PARAMETRES DE TRAVAIL ANALYSES SONT LA PRESSION DANS L'ENCEINTE, LE DEBIT DE GAZ ET LA TENSION D'AUTOPOLARISATION DE LA CATHO...
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| Auteur principal : | |
|---|---|
| Collectivité auteur : | |
| Autres auteurs : | |
| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | CARACTERISATION DES FILMS MINCES DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE (A-C : H) ELABORES EN PLASMA RF. ETUDE DE L'INTERFACE A-C:H/SUBSTRAT ET DES MECANISMES D'ADHESION / NATHALIE FOURCHES; SOUS LA DIRECTION DE GUY TURBAN |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1993 |
| Description matérielle : | 190 P. |
| Note de thèse : | Thèse de doctorat : Physique : Nantes : 1993 |
| Sujets : | |
| Documents associés : | Reproduit comme:
CARACTERISATION DES FILMS MINCES DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE (A-C |
| Particularités de l'exemplaire : | BU Sciences, Ex. 1 : Titre temporairement indisponible à la communication BU Sciences, Ex. 2 : Titre temporairement indisponible à la communication |
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| 330 | |a CE MEMOIRE PRESENTE L'ELABORATION DES FILMS MINCES DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE (A-C:H) PAR DECOMPOSITION DU METHANE DANS UN REACTEUR DIODE RADIOFREQUENCE. LES PARAMETRES DE TRAVAIL ANALYSES SONT LA PRESSION DANS L'ENCEINTE, LE DEBIT DE GAZ ET LA TENSION D'AUTOPOLARISATION DE LA CATHODE PORTE SUBSTRAT. LA FORMATION DE L'INTERFACE DEPOT/SUBSTRAT AINSI QUE L'ELABORATION DES COUCHES A-C:H ONT ETE SUIVIES PAR ELLIPSOMETRIE IN-SITU. LA MODELISATION DE LA VITESSE DE DEPOT A PERMIS DE METTRE EN EVIDENCE LE ROLE DU FLUX D'IONS, DU FLUX DE NEUTRES ET DU BOMBARDEMENT IONIQUE SUR LA CROISSANCE ET LA MORPHOLOGIE DES COUCHES. DE MEME L'INFLUENCE DE LA TENSION D'AUTOPOLARISATION SUR LA COMPOSITION ET LA STRUCTURE DES FILMS A ETE ETUDIEE. NOUS AVONS MONTRE QUE, SUIVANT CETTE TENSION D'AUTOPOLARISATION, IL EXISTE TROIS TYPES DE FILMS DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE QUE NOUS DENOMMONS: DE TYPE POLYMERIQUE (V#B<100 V), DUR OU DIAMOND-LIKE CARBON (100 V<V#B<800 V) ET DE TYPE GRAPHITIQUE (POUR V#B>800 V). CES FILMS DIFFERENT PAR LEUR TAUX D'HYDROGENE, LEUR RAPPORT D'HYBRIDATION SP#3/SP#2, CE QUI CONDITIONNE, ENTRE AUTRES, LEURS PROPRIETES OPTIQUES ET ELECTRONIQUES. AFIN DE RESOUDRE LES PROBLEMES D'ADHESION A-C:H/SUBSTRAT UNE ETUDE DE L'INTERFACE A ETE EFFECTUEE PAR ELLIPSOMETRIE IN-SITU, SPECTROMETRIE DE PHOTOELECTRONS X, SPECTROMETRIE DE MASSE D'IONS SECONDAIRES (SIMS) ET MICROSCOPIE ELECTRONIQUE. NOUS AVONS MONTRE QUE LA NATURE DU SUBSTRAT CONDITIONNE L'ETAPE DE PRE-TRAITEMENT DU SUBSTRAT. LE PRE-TRAITEMENT PEUT SERVIR A CHANGER LA MORPHOLOGIE SUPERFICIELLE DU SUBSTRAT, SA COMPOSITION CHIMIQUE SUPERFICIELLE ET/OU A GREFFER DES FONCTIONS CHIMIQUES PARTICULIERES. AINSI, LA FORMATION DE CARBURES OU DE PONTAGES OXYGENES A L'INTERFACE VISANT A AMELIORER L'ADHESION, SERA FAVORISEE LORS DE L'ETAPE DE PRE-TRAITEMENT. CES LIAISONS SERONT EFFECTIVEMENT CREEES LORS DE LA PROTECTION DE FIBRES OPTIQUES DE VERRE FLUORE ET DE PIERRES SEMI-PRECIEUSES PAR UN REVETEMENT DE A-C:H | ||
| 456 | | | |0 246326301 |t CARACTERISATION DES FILMS MINCES DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE (A-C |o H) ELABORES EN PLASMA RF. ETUDE DE L'INTERFACE A-C:H/SUBSTRAT ET DES MECANISMES D'ADHESION |f Nathalie Fourches |d 1993 |c Grenoble |n Atelier national de reproduction des thèses |p Microfiches |s [ Grenoble thèses] | |
| 541 | | | |a CHARACTERIZATION OF HYDROGENATED AMORPHOUS CARBON (A-C:H) THIN FILMS ELABORATED BY RF PLASMA STUDY OF THE A-C:H/SUBSTRATE INTERFACE AND OF THE ADHESION MECHANISMS |z eng | |
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| 610 | 1 | |a PHYSIQUE : SCIENCES DES MATERIAUX, RHEOLOGIE/ETAT CONDENSE : PROPRIETES MECANIQUES ET THERMIQUES | |
| 610 | 2 | |a ETUDE EXPERIMENTALE/PREPARATION CHIMIQUE/ETAT AMORPHE/CARBONE/NC/ADDITION HYDROGENE/COUCHE MINCE/DECHARGE HAUTE FREQUENCE/PLASMA/MODE OPERATOIRE/CARACTERISATION/INTERFACE SOLIDE SOLIDE/SUBSTRAT/ADHERENCE/MECANISME CROISSANCE/8115J/PAC/6855/PAC/A-C:H | |
| 610 | 2 | |a EXPERIMENTAL STUDY/CHEMICAL PREPARATION/AMORPHOUS STATE/CARBON/NC/HYDROGEN ADDITIONS/THIN FILMS/HIGH-FREQUENCY DISCHARGES/PLASMA/OPERATING MODE/CHARACTERIZATION/SOLID-SOLID INTERFACES/SUBSTRATES/ADHESION/GROWTH MECHANISM | |
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