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CARACTERISATION DES FILMS MINCES DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE (A-C : H) ELABORES EN PLASMA RF. ETUDE DE L'INTERFACE A-C:H/SUBSTRAT ET DES MECANISMES D'ADHESION
CE MEMOIRE PRESENTE L'ELABORATION DES FILMS MINCES DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE (A-C:H) PAR DECOMPOSITION DU METHANE DANS UN REACTEUR DIODE RADIOFREQUENCE. LES PARAMETRES DE TRAVAIL ANALYSES SONT LA PRESSION DANS L'ENCEINTE, LE DEBIT DE GAZ ET LA TENSION D'AUTOPOLARISATION DE LA CATHO...
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| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | CARACTERISATION DES FILMS MINCES DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE (A-C : H) ELABORES EN PLASMA RF. ETUDE DE L'INTERFACE A-C:H/SUBSTRAT ET DES MECANISMES D'ADHESION / NATHALIE FOURCHES; SOUS LA DIRECTION DE GUY TURBAN |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1993 |
| Description matérielle : | 190 P. |
| Note de thèse : | Thèse de doctorat : Physique : Nantes : 1993 |
| Sujets : | |
| Documents associés : | Reproduit comme:
CARACTERISATION DES FILMS MINCES DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE (A-C |
| Particularités de l'exemplaire : | BU Sciences, Ex. 1 : Titre temporairement indisponible à la communication BU Sciences, Ex. 2 : Titre temporairement indisponible à la communication |
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