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CARACTERISATION PHYSICO-CHIMIQUE DES COUCHES MINCES DE TUNGSTENE D'INTERCONNEXION POUR LES TECHNOLOGIQUES CMOS SUBMICRONIQUES
CE MEMOIRE DE THESE, PREPARE DANS LE CADRE D'UN CONTRAT CIFRE AVEC LA SOCIETE MATRA MHS DE NANTES, PRESENTE UNE ETUDE DES COUCHES MINCES DE TUNGSTENE D'INTERCONNEXION POUR LES TECHNOLOGIES CMOS SUBMICRONIQUES. LE TUNGSTENE, DEPOSE PAR DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR (CVD), EST UTILISE COMME...
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| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | CARACTERISATION PHYSICO-CHIMIQUE DES COUCHES MINCES DE TUNGSTENE D'INTERCONNEXION POUR LES TECHNOLOGIQUES CMOS SUBMICRONIQUES / NADINE COUCHMAN-GOURGUEN; SOUS LA DIRECTION DE BERNARD GROLLEAU |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1994 |
| Description matérielle : | 267 P. |
| Note de thèse : | Thèse de doctorat : Sciences appliquées : Nantes : 1994 |
| Sujets : | |
| Documents associés : | Reproduit comme:
CARACTERISATION PHYSICO-CHIMIQUE DES COUCHES MINCES DE TUNGSTENE D'INTERCONNEXION POUR LES TECHNOLOGIQUES CMOS SUBMICRONIQUES |
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