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ELABORATION PAR PULVERISATION CATHODIQUE ET CARACTERISATION DES PROPRIETES PHYSICO-CHIMIQUES DE COUCHES DE NITRURE D'ALUMINIUM PIEZO-ELECTRIQUES : APPLICATION A LA MESURE A HAUTE TEMPERATURE DE FLUCTUATIONS DE PRESSION
LES PROPRIETES PHYSICO-CHIMIQUES DE COUCHES DE NITRURE D'ALUMINIUM (AIN) POLYCRISTALLIN DEPOSE PAR PULVERISATION CATHODIQUE REACTIVE, SONT ETUDIEES EN FONCTION DES PARAMETRES D'ELABORATION. L'EFFET PIEZO-ELECTRIQUE EST RECHERCHE, L'APPLICATION ETANT LA MESURE A HAUTE TEMPERATURE...
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| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | ELABORATION PAR PULVERISATION CATHODIQUE ET CARACTERISATION DES PROPRIETES PHYSICO-CHIMIQUES DE COUCHES DE NITRURE D'ALUMINIUM PIEZO-ELECTRIQUES : APPLICATION A LA MESURE A HAUTE TEMPERATURE DE FLUCTUATIONS DE PRESSION / OLIVIER RAYMOND; SOUS LA DIR. DE SERGE LEFRANT |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 2000 |
| Description matérielle : | 245 p. |
| Note de thèse : | Thèse de doctorat : Physique : Nantes : 2000 |
| Sujets : | |
| Documents associés : | Reproduit comme:
ELABORATION PAR PULVERISATION CATHODIQUE ET CARACTERISATION DES PROPRIETES PHYSICO-CHIMIQUES DE COUCHES DE NITRURE D'ALUMINIUM PIEZO-ELECTRIQUES |
| Particularités de l'exemplaire : | BU Sciences, Ex. 1 : Titre temporairement indisponible à la communication BU Sciences, Ex. 2 : Titre temporairement indisponible à la communication |
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