ETUDE COMPARATIVE DES PROCEDES DE DEPOT DE COUCHES MINCES PAR PLASMA D'ORGANOSILICIES : TEOS, HMDSO ET HMDSN

ETUDE COMPARATIVE DES PROCEDES DE DEPOT DE COUCHES MINCES PAR PLASMA D'ORGANOSILICIES : TEOS, HMDSO ET HMDSN

CE TRAVAIL EST CONSACRE A L'ETUDE DE LA FRAGMENTATION DE MOLECULES ORGANOSILICIEES DANS DES PLASMAS BASSE PRESSION (2 MTORR) DE MELANGE OXYGENE/ORGANOSILIE OBTENUS DANS UN REACTEUR HELICON (13,56 MHZ). LES TROIS ORGANOSILICIES RETENUS POUR CETTE ETUDE COMPARATIVE SONT : LE TETRAETHOXYSILANE, L&...

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Auteur principal : Aumaille Karine (Auteur)
Collectivité auteur : Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance)
Autres auteurs : Granier Agnès (Directeur de thèse)
Format : Thèse ou mémoire
Langue : français
Titre complet : ETUDE COMPARATIVE DES PROCEDES DE DEPOT DE COUCHES MINCES PAR PLASMA D'ORGANOSILICIES : TEOS, HMDSO ET HMDSN / KARINE AUMAILLE; SOUS LA DIR. DE AGNES GRANIER
Publié : [S.l.] : [s.n.] , 2000
Description matérielle : 215 p.
Note de thèse : Thèse de doctorat : Physique : Nantes : 2000
Sujets :
PHYSIQUE : DOMAINES INTERDISCIPLINAIRES : SCIENCES DE MATERIAUX . RHELOGIE
ETUDE EXPERIMENTALE/CROISSANCE CRISTALLINE EN PHASE VAPEUR/COUCHE MINCE/PLASMA/HELICON/ETUDE COMPARATIVE/PRECURSEUR/FRAGMENTATION/SILANE ORGANIQUE/SILOXANE ORGANIQUE/SILAZANE ORGANIQUE/CINETIQUE/SPECTROMETRIE MASSE/SPECTROMETRIE EMISSION/SPECTRE IR/ELLIPSOMETRIE SPECTROSCOPIQUE/SPECTROMETRIE PHOTOELECTRON/RAYON X/SILANE (TETRAETHOXY)/DISILOXANE (HEXAMETHYL)/DISILAZANE (HEXAMETHYL)
Thèses et écrits académiques
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Particularités de l'exemplaire : BU Sciences, Ex. 1 :
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