Couches minces de nitrure d'aluminium : étude du dépôt par réaction chimique dans la phase gazeuse AlBr3 - NH3-H2, évaluation de leurs propriétés électriques
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Auteur principal : | |
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Format : | Livre |
Langue : | français |
Titre complet : | Couches minces de nitrure d'aluminium : étude du dépôt par réaction chimique dans la phase gazeuse AlBr3 - NH3-H2, évaluation de leurs propriétés électriques / Anne Bouteville |
Publié : |
S.l. :
s.n.
, 1982 |
Description matérielle : | 126 f |
Note de thèse : | Thèse : Sciences : Nantes : 1982 ; 3e cycle |
Particularités de l'exemplaire : | BU Sciences, Ex. 1 : Titre temporairement indisponible à la communication BU Sciences, Ex. 2 : Titre temporairement indisponible à la communication |
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