Technologie microélectronique : du silicium aux circuits intégrés
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Auteur principal : | |
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Format : | Manuel |
Langue : | français |
Titre complet : | Technologie microélectronique : du silicium aux circuits intégrés / Olivier Bonnaud,.. |
Publié : |
Paris :
Ellipses
, DL 2008 |
Description matérielle : | 1 vol. (VI-150 p.) |
Collection : | Technosup (Paris) Les Cours de l'École supérieure d'électricité |
Sujets : |
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320 | |a Bibliogr. p. 149-150. Index | ||
359 | 2 | |b I, Introduction à la technologie |b II, Obtention du silicium de qualité microélectronique |b III, Fabrication des plaquettes de silicium |b Chapitres V à X : Étapes technologiques : l'épitaxie, la diffusion, l'implantation ionique, l'oxydation, les dépôts, la gravure, la photolithogravure |b Chapitres XI et XII, Procédés de fabrication : diodes et transistors bipolaires, transistors MOS |b XIII, Amélioration des procédés technologiques |b XIV, Historique et évolution des technologies |b XV, Microélectronique grande surface | |
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