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Synthèse par procédé plasma et caractérisation de nanotubes : étude des mécanismes de croissance et applications électronique, biochimique et thermique
L objectif principal de ce travail de thèse a été l optimisation de la synthèse par méthode plasma de tapis de nanotubes de carbone multi-parois orientés. Pour cela l influence des différents paramètres plasma a été évaluée d une part par l analyse structurale des tapis de nanotubes synthétisés, réa...
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| Auteurs principaux : | , , |
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| Collectivités auteurs : | , , |
| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | Synthèse par procédé plasma et caractérisation de nanotubes : étude des mécanismes de croissance et applications électronique, biochimique et thermique / Aurélien Tailleur; sous la direction de Mohamed Abdou Djouadi ; co-encadrant Laurent Le Brizoual |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 2011 |
| Description matérielle : | 1 vol. (225 p.) |
| Condition d'utilisation et de reproduction : | Publication autorisée par le jury |
| Note de thèse : | Thèse de doctorat : Science des matériaux, Plasma-Couches minces et nanostructures : Nantes : 2011 |
| Sujets : | |
| Documents associés : | Reproduit comme:
Synthèse par procédé plasma et caractérisation de nanotubes Reproduit comme: Synthèse par procédé plasma et caractérisation de nanotubes |
| Particularités de l'exemplaire : | BU Sciences, Ex. 1 : Titre temporairement indisponible à la communication |
| Résumé : | L objectif principal de ce travail de thèse a été l optimisation de la synthèse par méthode plasma de tapis de nanotubes de carbone multi-parois orientés. Pour cela l influence des différents paramètres plasma a été évaluée d une part par l analyse structurale des tapis de nanotubes synthétisés, réalisée principalement par des observations au MEB et au MET et d autre part par l analyse du plasma, réalisée principalement par spectrométrie de masse. Cette étude a notamment permis de mieux comprendre les mécanismes de croissance des nanotubes de carbone multi-parois ainsi que les possibilités et limitations liées à notre procédé de synthèse, en l occurrence l ECR-PECVD (Electron Cyclotron Resonance Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Après quoi différentes applications potentielles des nanotubes de carbone multi-parois, nécessitant leur synthèse sur différents substrats ont été étudiées. Une première étude a été menée sur l utilisation de nanotubes de carbone comme interconnexion en remplacement du cuivre pour la microélectronique, étude menée dans le cadre de l ANR Nanoréseaux . Une seconde étude fut menée sur l utilisation de tapis de nanotubes de carbone en tant que transducteur pour la réalisation de biocapteurs électrochimiques, étude menée dans le cadre du projet région Biocap Loire . Une troisième étude fut menée sur l utilisation de tapis de nanotubes de carbone encapsulés par du nitrure d aluminium pour la réalisation d évacuateurs thermiques destinés à la microélectronique, étude menée dans le cadre de l ANR Nanothermic . Enfin la possibilité de synthétiser des nanotubes de nitrure de bore à l aide de notre procédé a été étudiée et a notamment permis d identifier les limitations et les voies d amélioration de notre procédé pour la synthèse de nanotubes de nitrure de bore. The main issue of this PHD work was the optimisation of the synthesis by plasma method of oriented multi wall carbon nanotubes (MWCNTs). For this purpose the influence of the different plasma parameters was evaluated on the one hand by the structural analysis of the CNTs carpets synthesized, mainly realised by SEM and TEM observations and on the other hand by plasma diagnostics as mass spectrometry. This study has especially allowed better understanding the growth mechanism of MWCNTs and the advantages and limitations of our ECR-PECVD process (Electron Cyclotron Resonance Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Different applications of our CNTs were explored in the frame of this thesis work. First a study was carried out on the use of CNTs as interconnection in replacement of copper for microelectronic application (ANR Nanoréseaux ). A second study was done on the use of MWCNTs as transducers for the realisation of electrochemical biosensors (Region Project Biocap Loire ). A third study was carried out for the development of nanocomposites materials with exceptional thermal conductivity. In fact, MWCNTs coated with aluminium nitride (AlN) were synthesized and characterized in order to be used for the thermal management of microelectronic devices (ANR Nanothermic ). Finally the synthesis of boron nitride nanotubes (BNNTs) by our process was investigated and has mainly allowed identifying the limits and possible improvement ways of our process for the synthesis of BNNTs. |
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| Variantes de titre : | Synthesis by plasma method and characterization of nanotubes : study of growth mechanism and electronic, biochemical and thermal applications |
| Bibliographie : | Bibliogr. p. 209-224 |