Synthèse et caractérisation de couches minces Fe-Al-O obtenues par faisceaux d'ions ou évaporation
CE MEMOIRE EST CONSACRE A L'ETUDE DE COUCHES MINCES CONTENANT LES TROIS ELEMENTS FE, AL, O. CES COUCHES ONT ETE ELABOREES PAR DIFFERENTS PROCEDES: PULVERISATION PAR CANON A IONS, EVAPORATION PAR CANON A ELECTRONS, ABLATION LASER ET IMPLANTATION IONIQUE. NOS EFFORTS SE SONT TOUT D'ABORD POR...
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Auteurs principaux : | , |
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Collectivité auteur : | |
Format : | Thèse ou mémoire |
Langue : | français |
Titre complet : | Synthèse et caractérisation de couches minces Fe-Al-O obtenues par faisceaux d'ions ou évaporation / par Françoise Thimon; sous la direction de G. Marest |
Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1992 |
Description matérielle : | 1 vol. (pagination multiple [ca 200] p.) |
Note de thèse : | Thèse de doctorat : Sciences. Physique atomique et nucléaire : Lyon 1 : 1992 |
Sujets : | |
Documents associés : | Reproduit comme:
Synthèse et caractérisation de couches minces Fe-Al-O obtenues par faisceaux d'ions ou évaporation |
Particularités de l'exemplaire : | BU Sciences, Ex. 1 : Titre temporairement indisponible à la communication |
Résumé : | CE MEMOIRE EST CONSACRE A L'ETUDE DE COUCHES MINCES CONTENANT LES TROIS ELEMENTS FE, AL, O. CES COUCHES ONT ETE ELABOREES PAR DIFFERENTS PROCEDES: PULVERISATION PAR CANON A IONS, EVAPORATION PAR CANON A ELECTRONS, ABLATION LASER ET IMPLANTATION IONIQUE. NOS EFFORTS SE SONT TOUT D'ABORD PORTES SUR LA MISE AU POINT DE LA TECHNIQUE DE PULVERISATION IONIQUE. NOUS AVONS EXAMINE L'INFLUENCE DES PARAMETRES INTERVENANT SUR LA VITESSE DE DEPOT (TEMPS, VARIABLES GEOMETRIQUES...) ET AVONS AINSI DETERMINE LEURS VALEURS DE MANIERE A OPTIMISER CETTE VITESSE. LA TECHNIQUE DE PULVERISATION IONIQUE A ENSUITE SERVI A LA PREPARATION DE FILMS DE FE-AL-O. LE ROLE DES PARAMETRES DE DEPOT (TEMPERATURE DU SUBSTRAT, CONCENTRATION DE FER) ET DES TRAITEMENTS THERMIQUES A L'ISSUE DU DEPOT A DIVERSES TEMPERATURES ET SOUS ATMOSPHERE CONTROLEE EST ETUDIEE. LA COMPOSITION CHIMIQUE DE CES FILMS EST ENSUITE COMPAREE A CELLE DES FILMS DE FE-AL-O FABRIQUES PAR EVAPORATION. LA DERNIERE PARTIE DE CE TRAVAIL A TRAIT A L'ETUDE DE COUCHES DE FE-AL-O OBTENUES PAR IMPLANTATION IONIQUE. NOUS AVONS IMPLANTE D'UNE PART DE FORTES DOSES D'IONS ALUMINIUM DANS LA MAGNETITE ET D'AUTRE PART DE FAIBLES ET DE FORTES FLUENCES D'IONS FER DANS L'ALUMINE. LA CARACTERISATION PHYSICOCHIMIQUE ET STRUCTURALE DE CES COUCHES MINCES A ETE REALISEE EN UTILISANT DES TECHNIQUES COMPLEMENTAIRES D'ANALYSE: METHODES NUCLEAIRES (SPECTROMETRIE DE RETRODIFFUSION, SPECTROSCOPIE MOSSBAUER A ELECTRONS DE CONVERSION), DIFFRACTION X SOUS INCIDENCE RASANTE, MICROSCOPIES ELECTRONIQUES A BALAYAGE ET A TRANSMISSION. CES TECHNIQUES ONT PERMIS DE METTRE EN EVIDENCE LA FORMATION D'OXYDE DE FER, DE COMPOSITES FE-AL#2O#3, ETC... SUIVANT LES CONDITIONS DE TRAITEMENTS |
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Variantes de titre : | ELABORATION AND CHARACTERIZATION OF FE-AL-O THIN FILMS OBTAINED BY ION BEAM OR EVAPORATION |
Bibliographie : | Bibliogr. pagination multiple [12] p. |