Characterization and modeling of a high power impulse magnetron sputtering discharge, application to thin films deposition
Le but de ce travail est de mieux comprendre la décharge magnétron pulsée haute puissance (HiPIMS). Pour cela, deux études ont été réalisées. La première pour modéliser ce type de décharge avec un modèle cinétique global de plasma dépendant du temps. Celui-ci est appliqué à la région d'ionisati...
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Collectivités auteurs : | , , |
Format : | Thèse ou mémoire |
Langue : | français |
Titre complet : | Characterization and modeling of a high power impulse magnetron sputtering discharge, application to thin films deposition / Joelle Zgheib; sous la direction de Pierre-Yves Jouan et de Ahmed Rhallabi |
Publié : |
2021 |
Accès en ligne : |
Accès Nantes Université
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Note sur l'URL : | Accès au texte intégral |
Note de thèse : | Thèse de doctorat : Physique : Nantes : 2021 |
Sujets : |
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