Couches minces de nitrure d aluminium à basse température pour la gestion thermique des composants de puissance
Cette thèse est consacrée à l'étude de la croissance et des propriétés de couches minces d'AIN élaborées par pulvérisation magnétron réactive à basse température (<250°C) pour la gestion thermique de composants de puissance. Des caractérisations physico-chimiques (ORX, Raman, MET, ... )...
Auteurs principaux : | , , , , , , , , |
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Collectivités auteurs : | , , , , |
Format : | Thèse ou mémoire |
Langue : | français |
Titre complet : | Couches minces de nitrure d aluminium à basse température pour la gestion thermique des composants de puissance / Julien Camus; sous la direction de Abdou Djaoudi ; co-directeur Gilles Tessier |
Publié : |
Nantes :
Université de Nantes
, 2015 |
Accès en ligne : |
Accès Nantes Université
|
Note sur l'URL : | Accès réservé aux étudiants et personnels de l'Université de Nantes après authentification |
Reproduction de : | Reproduction numérique de l'original imprimé |
Note de thèse : | Reproduction de : Thèse de doctorat : Sciences des matériaux, plasmas froids et couches minces : Nantes : 2015 |
Conditions d'accès : | Thèse confidentielle jusqu'au 09/07/2018. Accès en ligne sur authentification, réservé aux membres de l'établissement de soutenance. |
Sujets : | |
Documents associés : | Reproduction de:
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