CROISSANCE ET CARACTERISATION DE COUCHES MINCES D'OXYDE DE SILICIUM OBTENUES PAR PLASMA DE COMPOSES ORGANOSILICIES. (HMDSO, TEOS)

CROISSANCE ET CARACTERISATION DE COUCHES MINCES D'OXYDE DE SILICIUM OBTENUES PAR PLASMA DE COMPOSES ORGANOSILICIES. (HMDSO, TEOS)

CE MEMOIRE A POUR SUJET L'ELABORATION DE COUCHES MINCES D'OXYDE DE SILICIUM PAR PLASMA DE COMPOSES ORGANOSILICIES (HMDSO ET TEOS). L'ETUDE DE L'INFLUENCE DES PARAMETRES DU REACTEUR DE DEPOT SUR LA VITESSE DE CROISSANCE DES COUCHES MINCES A MONTRE L'IMPORTANCE DE LA TEMPERATU...

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Détails bibliographiques
Auteur principal : BOURREAU CHRISTIAN (Auteur)
Collectivité auteur : Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance)
Autres auteurs : Turban Guy (Directeur de thèse)
Format : Thèse ou mémoire
Langue : français
Titre complet : CROISSANCE ET CARACTERISATION DE COUCHES MINCES D'OXYDE DE SILICIUM OBTENUES PAR PLASMA DE COMPOSES ORGANOSILICIES. (HMDSO, TEOS) / CHRISTIAN BOURREAU; SOUS LA DIRECTION DE GUY TURBAN
Publié : [S.l.] : [s.n.] , 1992
Description matérielle : 135 p
Note de thèse : Thèse Doctorat : Physique : Nantes : 1992
Sujets :
PHYSIQUE : SCIENCES DES MATERIAUX, RHEOLOGIE
COUCHE MINCE/DEPOT PAR PLASMA/COMPOSE ORGANOSILICIE/INFRAROUGE/MECANISME DE CROISSANCE/RECOUVREMENT DE MARCHE
Thèses et écrits académiques
Documents associés : Reproduit comme: CROISSANCE ET CARACTERISATION DE COUCHES MINCES D'OXYDE DE SILICIUM OBTENUES PAR PLASMA DE COMPOSES ORGANOSILICIES. (HMDSO, TEOS)
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