Gravure de l'InP par plasma chloré à couplage inductif : applications aux cristaux photoniques

Gravure de l'InP par plasma chloré à couplage inductif : applications aux cristaux photoniques

Dans le cadre d'une collaboration avec le laboratoire LEOM (laboratoire d'électronique, Optoélectronique et Microsystème) de l Ecole Centrale de Lyon, nous avons mené une étude concernant la gravure de l InP par plasma ICP chloré. Ce type de procédé est considéré comme une étape clef dans...

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Auteurs principaux : Liu Bo (Auteur), Landesman Jean-Pierre (Directeur de thèse), Rhallabi Ahmed (Directeur de thèse)
Collectivités auteurs : Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance), École doctorale sciences et technologies de l'information et des matériaux Nantes (Ecole doctorale associée à la thèse)
Format : Thèse ou mémoire
Langue : français
Titre complet : Gravure de l'InP par plasma chloré à couplage inductif : applications aux cristaux photoniques / Bo Liu; Jean-Pierre Landesman, directeur de thèse ; Ahmed Rhallabi, co-directeur
Publié : [S.l.] : [s.n.] , 2007
Description matérielle : 1 vol. (164 p.)
Note de thèse : Thèse doctorat : Électronique et génie électrique : Nantes : 2007
Sujets :
Cristaux photoniques
Gravure par plasma
Spectrométrie de masse à plasma induit par haute fréquence
Thèses et écrits académiques
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Particularités de l'exemplaire : BU Sciences, Ex. 1 :
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BU Sciences

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Communication impossible 2007 NANT 2015 Exclu du prêt disponible