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Pulvérisation ionique assistée par faisceaux d'ions d'oxyde de silicium et de tantale : application aux multicouches optiques
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Etude de la tenue à la corrosion saline de couches minces de carbone amorphe hydrogéné déposé sur germinium par procédé CVD plasma
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Contribution à la modélisation de la pulvérisation par faisceaux d'ions
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