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ETUDE DE COUCHES MINCES DE WTI ET WTI-N OBTENUES PAR PULVERISATION R.F. MAGNETRON ET UTILISEES COMME BARRIERES DE DIFFUSION
L'ETUDE DE LA DECHARGE DIODE R.F. PLANAR MAGNETRON DANS L'ARGON ET DANS LES MELANGES ARGON-AZOTE A MONTRE L'INFLUENCE DE LA PRESSION DU GAZ DE DECHARGE ET DE LA POLARISATION DU SUBSTRAT SUR LES PARAMETRES ELECTRIQUES DE LA DECHARGE. PLUSIEURS METHODES D'ANALYSE ONT ETE UTILISEES...
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| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | ETUDE DE COUCHES MINCES DE WTI ET WTI-N OBTENUES PAR PULVERISATION R.F. MAGNETRON ET UTILISEES COMME BARRIERES DE DIFFUSION / HERY RAMAROTAFIKA; SOUS LA DIRECTION DE GEORGES LEMPERIERE |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1997 |
| Description matérielle : | 186 P. |
| Note de thèse : | Thèse de doctorat : Physique : Nantes : 1997 |
| Sujets : | |
| Documents associés : | Reproduit comme:
ETUDE DE COUCHES MINCES DE WTI ET WTI-N OBTENUES PAR PULVERISATION R.F. MAGNETRON ET UTILISEES COMME BARRIERES DE DIFFUSION |
| Particularités de l'exemplaire : | BU Sciences, Ex. 1 : Titre temporairement indisponible à la communication BU Sciences, Ex. 2 : Titre temporairement indisponible à la communication |
BU Sciences
| | Cote | Prêt | Statut |
|---|---|---|---|
| Communication impossible | 97 NANT 2020 | Empruntable | Disponible |
| Communication impossible | 97 NANT 2020 | Exclu du prêt | Disponible |