DEPOT DE COUCHES MINCES DE CARBONE ADAMANTIN DANS UN PLASMA MAGNETRON MICRO-ONDE

DEPOT DE COUCHES MINCES DE CARBONE ADAMANTIN DANS UN PLASMA MAGNETRON MICRO-ONDE

CE TRAVAIL EST CONSACRE A L'ETUDE DU DEPOT DES COUCHES MINCES DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE (A-C:H) DANS DES PLASMAS BASSE PRESSION (2,6 MTORR) DE METHANE (CH#4) ET D'ACETYLENE (C#2H#2), OBTENUS PAR EXCITATION MICRO-ONDE (2,45 GHZ) A LA FREQUENCE DE RESONANCE CYCLOTRONIQUE ELECTRONIQUE DANS...

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Auteur principal : Zarrabian Marjan (Auteur)
Collectivité auteur : Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance)
Autres auteurs : Turban Guy (Directeur de thèse)
Format : Thèse ou mémoire
Langue : français
Titre complet : DEPOT DE COUCHES MINCES DE CARBONE ADAMANTIN DANS UN PLASMA MAGNETRON MICRO-ONDE / MARJAN ZARRABIAN; SOUS LA DIRECTION DE GUY TURBAN
Publié : [S.l.] : [s.n.] , 1998
Description matérielle : 182 P.
Note de thèse : Thèse de doctorat : Physique : Nantes : 1998
Sujets :
PHYSIQUE : SCIENCES DES MATERIAUX, RHEOLOGIE
ETUDE EXPERIMENTALE/COUCHE MINCE/DEPOT PLASMA/MAGNETRON/MATERIAU AMORPHE HYDROGENE/CARBONE/RESEAU DIAMANT/DECHARGE HYPERFREQUENCE/HYDROCARBURE/SPECTROMETRIE MASSE/SPECTRE IR/SPECTRE PERTE ENERGIE ELECTRON/SPECTRE RAMAN/TEM/METHODE HAUTE RESOLUTION/A-C:H/8115C/PAC
EXPERIMENTAL STUDY/THIN FILMS/PLASMA DEPOSITION/MAGNETRONS/AMORPHOUS HYDROGENATED MATERIAL/CARBON/NC/DIAMOND LATTICES/MICROWAVE DISCHARGE/HYDROCARBONS/MASS SPECTROSCOPY/INFRARED SPECTRA/ELECTRON ENERGY LOSS SPECTRA/RAMAN SPECTRA/TEM/HIGH-RESOLUTION METHODS
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Communication impossible 98 NANT 2001 Empruntable Disponible
Communication impossible 98 NANT 2001 Exclu du prêt Disponible