ETUDE DE COUCHES MINCES DE WTI ET WTI-N OBTENUES PAR PULVERISATION R.F. MAGNETRON ET UTILISEES COMME BARRIERES DE DIFFUSION
L'ETUDE DE LA DECHARGE DIODE R.F. PLANAR MAGNETRON DANS L'ARGON ET DANS LES MELANGES ARGON-AZOTE A MONTRE L'INFLUENCE DE LA PRESSION DU GAZ DE DECHARGE ET DE LA POLARISATION DU SUBSTRAT SUR LES PARAMETRES ELECTRIQUES DE LA DECHARGE. PLUSIEURS METHODES D'ANALYSE ONT ETE UTILISEES...
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Format : | Thèse ou mémoire |
Langue : | français |
Titre complet : | ETUDE DE COUCHES MINCES DE WTI ET WTI-N OBTENUES PAR PULVERISATION R.F. MAGNETRON ET UTILISEES COMME BARRIERES DE DIFFUSION / HERY RAMAROTAFIKA; SOUS LA DIRECTION DE GEORGES LEMPERIERE |
Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1997 |
Description matérielle : | 186 P. |
Note de thèse : | Thèse de doctorat : Physique : Nantes : 1997 |
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ETUDE DE COUCHES MINCES DE WTI ET WTI-N OBTENUES PAR PULVERISATION R.F. MAGNETRON ET UTILISEES COMME BARRIERES DE DIFFUSION |
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