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STRUCTURE ET PROPRIETES DE FILMS MINCES DE NITRURE DE TITANE COMME BARRIERES ANTI-DIFFUSION SUR DES SUBSTRATS DE SILICIUM
CE TRAVAIL PORTE SUR L'UTILISATION DE FILMS MINCES DE NITRURE DE TITANE COMME BARRIERES ANTI-DIFFUSION SUR DES SUBSTRATS DE SILICIUM. CES FILMS ONT ETE REALISES PAR PULVERISATION DIODE CONTINUE ET NOUS AVONS ETUDIE LES MODIFICATIONS EVENTUELLES DE LEURS PROPRIETES LORS DE RECUITS SOUS VIDE, JUS...
| Auteur principal : | |
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| Collectivité auteur : | |
| Autres auteurs : | |
| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | STRUCTURE ET PROPRIETES DE FILMS MINCES DE NITRURE DE TITANE COMME BARRIERES ANTI-DIFFUSION SUR DES SUBSTRATS DE SILICIUM / IDRISSA DARI-BAKO; SOUS LA DIRECTION DE J.-M. POITEVIN |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1995 |
| Description matérielle : | 160 P. |
| Note de thèse : | Thèse de doctorat : Sciences appliquées : Nantes : 1995 |
| Sujets : | |
| Documents associés : | Reproduit comme:
STRUCTURE ET PROPRIETES DE FILMS MINCES DE NITRURE DE TITANE COMME BARRIERES ANTI-DIFFUSION SUR DES SUBSTRATS DE SILICIUM |
| Particularités de l'exemplaire : | BU Sciences, Ex. 1 : Titre temporairement indisponible à la communication BU Sciences, Ex. 2 : Titre temporairement indisponible à la communication |
BU Sciences
| | Cote | Prêt | Statut |
|---|---|---|---|
| Communication impossible | 95 NANT 2043 | Empruntable | Disponible |
| Communication impossible | 95 NANT 2043 | Exclu du prêt | Disponible |