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ETUDE DES MECANISMES D'ECHAUFFEMENT DE L'ANODE PORTE-SUBSTRATS DANS UNE DECHARGE DE PULVERISATION D'IODE-CONTINU. INFLUENCE DE LA TEMPERATURE ET DE LA POLARISATION DU SUBSTRAT SUR L'ELABORATION DE COUCHES MINCES DE NITRURE DE TITANE
NOUS ETUDIONS L'INFLUENCE DES PARAMETRES D'UNE DECHARGE DE PULVERISATION DIODE-CONTINU SUR LA QUANTITE D'ENERGIE TRANSFEREE A L'ANODE PORTE-SUBSTRATS. LE CAS D'UNE POLARISATION NEGATIVE DE L'ANODE EST ENVISAGE. LE BOMBARDEMENT DES SUBSTRATS PAR LES ELECTRONS ET LES IONS...
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| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | ETUDE DES MECANISMES D'ECHAUFFEMENT DE L'ANODE PORTE-SUBSTRATS DANS UNE DECHARGE DE PULVERISATION D'IODE-CONTINU. INFLUENCE DE LA TEMPERATURE ET DE LA POLARISATION DU SUBSTRAT SUR L'ELABORATION DE COUCHES MINCES DE NITRURE DE TITANE / DENIS MAHEO; SOUS LA DIRECTION DE JEAN-MARC POITEVIN |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1991 |
| Description matérielle : | 217 p |
| Note de thèse : | Thèse Doctorat : Chimie : Nantes : 1991 |
| Sujets : | |
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ETUDE DES MECANISMES D'ECHAUFFEMENT DE L'ANODE PORTE-SUBSTRATS DANS UNE DECHARGE DE PULVERISATION D'IODE-CONTINU. INFLUENCE DE LA TEMPERATURE ET DE LA POLARISATION DU SUBSTRAT SUR L'ELABORATION DE COUCHES MINCES DE NITRURE DE TITANE |
| Particularités de l'exemplaire : | BU Sciences, Ex. 1 : Titre temporairement indisponible à la communication BU Sciences, Ex. 2 : Titre temporairement indisponible à la communication |
BU Sciences
| | Cote | Prêt | Statut |
|---|---|---|---|
| Communication impossible | 91 NANT 2040 | Empruntable | Disponible |
| Communication impossible | 91 NANT 2040 | Exclu du prêt | Disponible |