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MODELISATION CINETIQUE D'UN PLASMA DE METHANE POUR LE DEPOT DE COUCHES MINCES DE CARBONE HYDROGENE (DLC)
LA PRESENTE ETUDE EST CONSACREE A LA MODELISATION ET A LA SIMULATION DU PROCEDE DE DEPOT DE COUCHES MINCES DE CARBONE AMORPHE (DLC) DANS UN PLASMA FROID DE METHANE. LE CARBONE DLC EN COUCHE MINCE EST UTILISE COMME COUCHE DE PASSIVATION OU D'ISOLEMENT DANS LES COMPOSANTS OPTIQUES EN GERMANIUM ET...
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| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | MODELISATION CINETIQUE D'UN PLASMA DE METHANE POUR LE DEPOT DE COUCHES MINCES DE CARBONE HYDROGENE (DLC) / AHMED RHALLABI; SOUS LA DIRECTION DE GUY TURBAN |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1992 |
| Note de thèse : | Thèse Doctorat : Physique : Nantes : 1992 |
| Sujets : | |
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MODELISATION CINETIQUE D'UN PLASMA DE METHANE POUR LE DEPOT DE COUCHES MINCES DE CARBONE HYDROGENE (DLC) |
| Particularités de l'exemplaire : | BU Sciences, Ex. 1 : Titre temporairement indisponible à la communication |
BU Sciences
| | Cote | Prêt | Statut |
|---|---|---|---|
| Communication impossible | 92 NANT 2025 | Empruntable | Disponible |
| Communication impossible | 92 NANT 2025 | Exclu du prêt | disponible |