SIMULATION DE PROCEDES DE GRAVURE SECHE POUR LES DISPOSITIFS MICRO-OPTO-ELECTRONIQUES

SIMULATION DE PROCEDES DE GRAVURE SECHE POUR LES DISPOSITIFS MICRO-OPTO-ELECTRONIQUES

CETTE ETUDE EST CONSACREE A LA MODELISATION DE PROCEDES DE GRAVURE SECHE SUR SUBSTRAT D'INP ET DE GAAS. LES APPLICATIONS DE CES MATERIAUX DANS LES NOUVELLES TECHNOLOGIES ET LES CONTRAINTES DE FABRICATION DES COMPOSANTS MICRO-OPTO-ELECTRONIQUES, CREENT UN CONTEXTE FAVORABLE POUR CE TYPE D'E...

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Détails bibliographiques
Auteur principal : HOULET LIONEL (Auteur)
Collectivité auteur : Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance)
Autres auteurs : Turban Guy (Directeur de thèse)
Format : Thèse ou mémoire
Langue : français
Titre complet : SIMULATION DE PROCEDES DE GRAVURE SECHE POUR LES DISPOSITIFS MICRO-OPTO-ELECTRONIQUES / LIONEL HOULET; SOUS LA DIR. DE GUY TURBAN
Publié : [S.l.] : [s.n.] , 1999
Description matérielle : 237 p.
Note de thèse : Thèse de doctorat : Sciences et techniques : Nantes : 1999
Sujets :
SCIENCES ET TECHNIQUES : ELECTRONIQUE
FABRICATION MICROELECTRONIQUE/OPTOELECTRONIQUE/SEMICONDUCTEUR III-V/CONCEPTION ASSISTEE/MODELISATION/SIMULATION NUMERIQUE/PROCEDE VOIE SECHE/GRAVURE FAISCEAU IONIQUE/GRAVURE PLASMA/GRAVURE CHIMIQUE
Thèses et écrits académiques
Particularités de l'exemplaire : BU Sciences, Ex. 1 :
Titre temporairement indisponible à la communication
BU Sciences, Ex. 2 :
Titre temporairement indisponible à la communication

BU Sciences

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‌ Cote Prêt Statut
Communication impossible 99 NANT 2027 Empruntable Disponible
Communication impossible 99 NANT 2027 Exclu du prêt Disponible

Bib. Centrale Nantes

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Magasin 3 Th.1789 bis Empruntable Disponible
Magasin 3 Th.1789 Exclu du prêt Disponible