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SIMULATION DE PROCEDES DE GRAVURE SECHE POUR LES DISPOSITIFS MICRO-OPTO-ELECTRONIQUES
CETTE ETUDE EST CONSACREE A LA MODELISATION DE PROCEDES DE GRAVURE SECHE SUR SUBSTRAT D'INP ET DE GAAS. LES APPLICATIONS DE CES MATERIAUX DANS LES NOUVELLES TECHNOLOGIES ET LES CONTRAINTES DE FABRICATION DES COMPOSANTS MICRO-OPTO-ELECTRONIQUES, CREENT UN CONTEXTE FAVORABLE POUR CE TYPE D'E...
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| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | SIMULATION DE PROCEDES DE GRAVURE SECHE POUR LES DISPOSITIFS MICRO-OPTO-ELECTRONIQUES / LIONEL HOULET; SOUS LA DIR. DE GUY TURBAN |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1999 |
| Description matérielle : | 237 p. |
| Note de thèse : | Thèse de doctorat : Sciences et techniques : Nantes : 1999 |
| Sujets : | |
| Particularités de l'exemplaire : | BU Sciences, Ex. 1 : Titre temporairement indisponible à la communication BU Sciences, Ex. 2 : Titre temporairement indisponible à la communication |
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