Élaboration par pulvérisation ionique réactive et caractérisation de couches minces de carbonitrure amorphe a-CNx

Élaboration par pulvérisation ionique réactive et caractérisation de couches minces de carbonitrure amorphe a-CNx

Ce travail est consacré à l'étude des films minces de carbonitrure amorphe déposés par pulvérisation triode et par magnétron r.f. (13,56 MHz). Pour le système magnétron, les paramètres de dépôt sont la pression totale du gaz et la composition d'azote. Pour le système triode, les paramètres...

Description complète

Détails bibliographiques
Auteurs principaux : Mubumbila Ntumba (Auteur), Turban Guy (Directeur de thèse), Tessier Pierre-Yves (Directeur de thèse)
Collectivités auteurs : Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance), École doctorale sciences et technologies de l'information et des matériaux Nantes (Ecole doctorale associée à la thèse)
Format : Thèse ou mémoire
Langue : français
Titre complet : Élaboration par pulvérisation ionique réactive et caractérisation de couches minces de carbonitrure amorphe a-CNx / Ntumba Mubumbila; sous la dir. de Guy Turban et Pierre-Yves Tessier
Publié : [S.l.] : [s.n.] , 2003
Description matérielle : 195
Condition d'utilisation et de reproduction : Publication autorisée par le jury
Note de thèse : Thèse de doctorat : Science des matériaux, plasma, couches minces : Nantes : 2003
Sujets :
Spectroscopie
Couches minces
Spectroscopie infrarouge
Thèses et écrits académiques
Documents associés : Reproduit comme: Élaboration par pulvérisation ionique réactive et caractérisation de couches minces de carbonitrure amorphe a-CNx
Particularités de l'exemplaire : BU Sciences, Ex. 1 :
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BU Sciences

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