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Élaboration par pulvérisation ionique réactive et caractérisation de couches minces de carbonitrure amorphe a-CNx
Ce travail est consacré à l'étude des films minces de carbonitrure amorphe déposés par pulvérisation triode et par magnétron r.f. (13,56 MHz). Pour le système magnétron, les paramètres de dépôt sont la pression totale du gaz et la composition d'azote. Pour le système triode, les paramètres...
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| Auteurs principaux : | , , |
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| Collectivités auteurs : | , |
| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | Élaboration par pulvérisation ionique réactive et caractérisation de couches minces de carbonitrure amorphe a-CNx / Ntumba Mubumbila; sous la dir. de Guy Turban et Pierre-Yves Tessier |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 2003 |
| Description matérielle : | 195 |
| Condition d'utilisation et de reproduction : | Publication autorisée par le jury |
| Note de thèse : | Thèse de doctorat : Science des matériaux, plasma, couches minces : Nantes : 2003 |
| Sujets : | |
| Documents associés : | Reproduit comme:
Élaboration par pulvérisation ionique réactive et caractérisation de couches minces de carbonitrure amorphe a-CNx |
| Particularités de l'exemplaire : | BU Sciences, Ex. 1 : Titre temporairement indisponible à la communication |
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| 330 | |a Ce travail est consacré à l'étude des films minces de carbonitrure amorphe déposés par pulvérisation triode et par magnétron r.f. (13,56 MHz). Pour le système magnétron, les paramètres de dépôt sont la pression totale du gaz et la composition d'azote. Pour le système triode, les paramètres de dépôt sont la pression partielle d'azote, la densité de puissance de la cible et la polarisation des substrats. Les caractéristiques du plasma d'azote sont étudiés dans le système magnétron : la spectroscopie d'émission optique est utilisée pour déterminer la proportion relative des espèces azotées atomiques ou moléculaires et des espèces radicalaires CN ; la sonde de Langmuir est utilisée pour mesurer les paramètres électriques de la décharge. Les effets de l'incorporation d'azote ont été étudiés sur la cinétique de croissance, la composition, la structure et le type de liaisons dans les films CNx... | ||
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