MEMS/NEMS : Handbook Techniques and Applications
Micro-Electro Mechanical Systems (MEMS) is the integration of mechanical elements, sensors, actuators, and electronics on a common silicon substrate. While the electronics are fabricated using integrated circuit (IC) process sequences (e.g., CMOS, Bipolar, or BICMOS processes), the micromechanical c...
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Format : | Livre |
Langue : | anglais |
Titre complet : | MEMS/NEMS : Handbook Techniques and Applications / edited by Cornelius T. Leondes. |
Publié : |
New York, NY :
Springer US
, 2006 Cham : Springer Nature |
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