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Dépôt de couches minces de nitrures par pulvérisation magnétron (PVD) : étude de la structure et de la contrainte des films
Les propriétés piézoélectriques, thermiques, acoustiques et diélectriques du nitrure d aluminium AlN en font un bon candidat pour de nombreuses applications en électronique, télécommunications ou encore pour des dispositifs SAW. Toutefois, les problèmes d adhérence liés à des contraintes trop import...
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| Auteurs principaux : | , , |
|---|---|
| Collectivités auteurs : | , , |
| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | Dépôt de couches minces de nitrures par pulvérisation magnétron (PVD) : étude de la structure et de la contrainte des films / Bassam Abdallah; sous la co-direction de M-Abdou Djouadi et Pierre-Yves Jouan |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 2008 |
| Description matérielle : | 1 vol. (205 f.) |
| Condition d'utilisation et de reproduction : | Publication autorisée par le jury |
| Note de thèse : | Thèse doctorat : Sciences des matériaux, plasma et couches minces : Nantes : 2008 |
| Sujets : | |
| Documents associés : | Reproduit comme:
Dépôt de couches minces de nitrures par pulvérisation magnétron (PVD) |
| Particularités de l'exemplaire : | BU Sciences, Ex. 1 : Titre temporairement indisponible à la communication |
BU Sciences
| | Cote | Prêt | Statut |
|---|---|---|---|
| Communication impossible | 2008 NANT 2051 | Empruntable | Disponible |
| Communication impossible | 2008 NANT 2051 | Exclu du prêt | disponible |