Développement, intégration et modélisation de composants passifs intégrés en couches minces dans une filière CMOS
Nous proposons dans cette thèse de développer une technologie de composants passifs dans les niveaux de métallisation d'une filière industrielle en effectuant un report des contraintes en performances sur les propriétés des matériaux utilisés en couches minces. Nous présentons la démarche adopt...
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Format : | Thèse ou mémoire |
Langue : | français |
Titre complet : | Développement, intégration et modélisation de composants passifs intégrés en couches minces dans une filière CMOS / Siamak Salimy; sous la direction de Serge Toutain; co-directeurs Ahmed Rhallabi et Antoine Goullet |
Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 2010 |
Accès en ligne : |
Accès Nantes Université
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Note de thèse : | Thèse doctorat : Électronique : Nantes : 2010 |
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Développement, intégration et modélisation de composants passifs intégrés en couches minces dans une filière CMOS |