ETUDE DE COUCHES MINCES DE WTI ET WTI-N OBTENUES PAR PULVERISATION R.F. MAGNETRON ET UTILISEES COMME BARRIERES DE DIFFUSION /

ETUDE DE COUCHES MINCES DE WTI ET WTI-N OBTENUES PAR PULVERISATION R.F. MAGNETRON ET UTILISEES COMME BARRIERES DE DIFFUSION /

L'ETUDE DE LA DECHARGE DIODE R.F. PLANAR MAGNETRON DANS L'ARGON ET DANS LES MELANGES ARGON-AZOTE A MONTRE L'INFLUENCE DE LA PRESSION DU GAZ DE DECHARGE ET DE LA POLARISATION DU SUBSTRAT SUR LES PARAMETRES ELECTRIQUES DE LA DECHARGE. PLUSIEURS METHODES D'ANALYSE ONT ETE UTILISEES...

Description complète

Enregistré dans:
Détails bibliographiques
Auteur principal : RAMAROTAFIKA, HERY. (Auteur)
Collectivité auteur : Université de Nantes (1962-2021) (Organisme de soutenance)
Autres auteurs : LEMPERIERE, GEORGES. (Directeur de thèse)
Format : Thèse Livre
Langue :français
Publié : [S.l.] : [s.n.], 1997.
Sujets :
PHYSIQUE : SCIENCES DES MATERIAUX, RHEOLOGIE
ETUDE EXPERIMENTALE/CROISSANCE CRISTALLINE EN PHASE VAPEUR/COUCHE MINCE/PULVERISATION HAUTE FREQUENCE/MAGNETRON/ALLIAGE BINAIRE/ALLIAGE BASE TUNGSTENE/NK/TITANE ALLIAGE/DOPAGE/ADDITION AZOTE/BARRIERE/XRD/SPECTROMETRIE PHOTOELECTRON/RAYON X/SPECTROMETRIE AUGER/RBS/SEM/RECUIT THERMIQUE RAPIDE/ALLIAGE W79TI21/NK/TI W/8115C/PAC
EXPERIMENTAL STUDY/CRYSTAL GROWTH FROM VAPORS/THIN FILMS/RADIOFREQUENCY SPUTTERING/MAGNETRONS/BINARY ALLOYS/TUNGSTEN BASE ALLOYS/NK/TITANIUM ALLOYS/DOPING/NITROGEN ADDITIONS/BARRIERS/XRD/PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY/X RADIATION/AES/RBS/SEM/RAPID THERMAL ANNEALING
Thèses et écrits académiques.

Bu Sciences / Magasin compactus - S'adresser à l'accueil

Informations d'exemplaires de Magasin compactus - S'adresser à l'accueil
Cote: 97 NANT 2020
Exemplaire 1 Disponible
Exemplaire 2 Disponible

Documents similaires