Conception, réalisation et caractérisation de composants photoniques intégrés à base de matériaux diélectriques élaborés par procédés plasmas
Ce travail de thèse est consacré à la conception, la réalisation et la caractérisation de composants photoniques intégrés à base de matériaux diélectriques élaborés à basse température, sur substrat silicium, par procédé de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD). La fonction princ...
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Auteurs principaux : | , , |
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Collectivités auteurs : | , , |
Format : | Thèse ou mémoire |
Langue : | français |
Titre complet : | Conception, réalisation et caractérisation de composants photoniques intégrés à base de matériaux diélectriques élaborés par procédés plasmas / Thomas Begou; sous la direction de Antoine Goullet et Bruno Bêche |
Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 2008 |
Description matérielle : | 1 vol. (194 f.) |
Condition d'utilisation et de reproduction : | Publication autorisée par le jury |
Note de thèse : | Thèse de doctorat : Science des matériaux : Nantes : 2008 |
Sujets : | |
Documents associés : | Reproduit comme:
Conception, réalisation et caractérisation de composants photoniques intégrés à base de matériaux diélectriques élaborés par procédés plasmas |
Particularités de l'exemplaire : | BU Sciences, Ex. 1 : Titre temporairement indisponible à la communication |
BU Sciences
| Cote | Prêt | Statut |
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Communication impossible | 2008 NANT 2109 | Empruntable | Disponible |
Communication impossible | 2008 NANT 2109 | Exclu du prêt | disponible |