Conception, réalisation et caractérisation de composants photoniques intégrés à base de matériaux diélectriques élaborés par procédés plasmas

Conception, réalisation et caractérisation de composants photoniques intégrés à base de matériaux diélectriques élaborés par procédés plasmas

Ce travail de thèse est consacré à la conception, la réalisation et la caractérisation de composants photoniques intégrés à base de matériaux diélectriques élaborés à basse température, sur substrat silicium, par procédé de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD). La fonction princ...

Description complète

Enregistré dans:
Détails bibliographiques
Auteurs principaux : Begou Thomas (Auteur), Goullet Antoine (Directeur de thèse), Bêche Bruno (Directeur de thèse)
Collectivités auteurs : Université de Nantes Faculté des sciences et des techniques (Autre partenaire associé à la thèse), Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance), École doctorale Matériaux, Matières, Molécules en Pays de la Loire (3MPL) Le Mans 2008-2021 (Organisme de soutenance)
Format : Thèse ou mémoire
Langue : français
Titre complet : Conception, réalisation et caractérisation de composants photoniques intégrés à base de matériaux diélectriques élaborés par procédés plasmas / Thomas Begou; sous la direction de Antoine Goullet et Bruno Bêche
Publié : [S.l.] : [s.n.] , 2008
Description matérielle : 1 vol. (194 f.)
Condition d'utilisation et de reproduction : Publication autorisée par le jury
Note de thèse : Thèse de doctorat : Science des matériaux : Nantes : 2008
Sujets :
Guides d'ondes optiques
Photonique
Optique intégrée
Silicium > Composés organiques
Oxyde de titane
Ellipsométrie
Thèses et écrits académiques
Documents associés : Reproduit comme: Conception, réalisation et caractérisation de composants photoniques intégrés à base de matériaux diélectriques élaborés par procédés plasmas
Particularités de l'exemplaire : BU Sciences, Ex. 1 :
Titre temporairement indisponible à la communication

BU Sciences

Informations d'exemplaires de BU Sciences
‌ Cote Prêt Statut
Communication impossible 2008 NANT 2109 Empruntable Disponible
Communication impossible 2008 NANT 2109 Exclu du prêt disponible