Structural and thermal characterization of AIN thin films and their integration in laser devices
Des couches minces de nitrure d'aluminium sont développées sur plusieurs substrats à l'aide d'une pulvérisation cathodique par magnétron à basse température (<200 ° C) afin d'assurer la gestion thermique des dispositifs laser. La caractérisation de la microstructure (DRX, Rama...
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Collectivités auteurs : | , , , |
Format : | Thèse ou mémoire |
Langue : | anglais |
Titre complet : | Structural and thermal characterization of AIN thin films and their integration in laser devices / Mohammad Rammal; sous la direction de Mohamed-Abdou Djouadi et de Ahmed Rhallabi |
Publié : |
2019 |
Accès en ligne : |
Accès Nantes Université
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Note de thèse : | Thèse de doctorat : Science des matériaux : Nantes : 2019 |
Sujets : |