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Pilotage en temps réel de dépôts P.V.D. plasma : application à une machine mettant en œuvre la technologie D.I.B.S.
NOUS NOUS INTERESSONS A L'ELABORATION PAR UNE TECHNIQUE DE DEPOTS DE TYPE PVD PLASMA DE COMPOSANTS OPTIQUES DE HAUTE QUALITE. LA MAITRISE DE LA REPRODUCTIBILITE DES RESULTATS OBTENUS SERA GARANTIE PAR LA MISE EN PLACE D'UN SYSTEME DE PILOTAGE DE LA MACHINE DE DEPOT. CE SYSTEME DOIT PERMETT...
Enregistré dans:
| Auteurs principaux : | , |
|---|---|
| Collectivité auteur : | |
| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | Pilotage en temps réel de dépôts P.V.D. plasma : application à une machine mettant en œuvre la technologie D.I.B.S. / par Olivier Leblanc; sous la direction de J. M. Mackowski |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1992 |
| Description matérielle : | 1 vol. (pagination multiple [ca 200] p.) |
| Note de thèse : | Thèse de doctorat : Sciences. Automatique : Lyon 1 : 1992 |
| Sujets : | |
| Documents associés : | Reproduit comme:
Pilotage en temps réel de dépôts P.V.D. plasma |
| Particularités de l'exemplaire : | BU Sciences, Ex. 1 : Titre temporairement indisponible à la communication |
BU Sciences
| | Cote | Prêt | Statut |
|---|---|---|---|
| Communication impossible | 92 LYO1 Leblanc | Empruntable | Disponible |